Como quase tudo na civilização ocidental, parece, o acento circunflexo também é uma invenção dos Antigos Gregos. Surgiu no período helenístico, literalmente do encontro do acento agudo (´) com o grave (`). No grego antigo uma vogal era acentuada sendo proferida, não com mais força como entre nós, mas em tom mais agudo. Na escrita marcava-se com o acento agudo as vogais acentuadas, e com o grave as não acentuadas. Quando uma vogal acentuada seguida de uma não acentuada formavam por contração uma única vogal longa, esta era grafada com acento circunflexo, e era proferida num tom descendente, de agudo para grave. (Circumflex na Wikipedia em inglês.)
O acento circunflexo é reaproveitado nas línguas modernas europeias a partir do século XVI. O primeiro exemplo que se conhece é na obra de Jacques Dubois (1478-1555), conhecido por Sylvius (Wikipédia em francês). Outros franceses se lhe seguiram, cada um usando o circunflexo para fins diversos. Só no século XVIII se normalizou um uso próximo do atual, que consiste em assinalar a supressão de uma letra, tipicamente um s—tête é cognato de testa, forêt é floresta. (Accent circonflexe en français na Wikipédia em francês.)
No português a aparição do acento circunflexo também não tardou. O primeiro uso de que tenho conhecimento é de 1576, na Orthographia da Lingoa Portuguesa de Duarte Nunez de Lião. O autor preconiza o seu uso, não para indicar a sílaba tónica, mas exclusivamente para distinguir palavras que doutro modo seriam homógrafas (f. 66)
Mas algumas sugestões são no entanto deveras curiosas (f. 67):
Não sei se a último a de amará, ouvirá, etc. teria na altura um timbre diferente do atual? Mas nunca vi em qualquer outro texto amarâ, ouvirâ, etc. Saltando para o século XIX, encontra-se um uso dos acentos que corresponde mais ou menos à ideia de Duarte Nunez: não para assinalar a sílaba tónica, mas para distinguir palavras que doutro modo seriam homógrafas, assinalando o circunflexo os sons fechados. Assim escrevia-se amára e amará; comêra e comerá; pôr, verbo, e por, preposição. Mas a situação era confusa, porque parece que cada pessoa escrevia à sua maneira. Isso mesmo nota em 1871 Domingos Vieira no seu monumental Thesouro da Lingua Portugueza (verbete circumflexo)
—Termo de Grammatica romanica. Accento circumflexo, signal orthographico em fórma de pequeno v voltado (^), que tem usos diversos conforme as linguas romanicas que o empregam. Em portuguez o accento circumflexo serve para indicar unicamente que a vogal sobre que se coloca é fechada, assim em vêl-o, pômo; mas ha a maior arbitrariedade em pôr ou não o accento circumflexo sobre as vogaes fechadas. N’isto, como em tudo, se revela o estado cahotico da nossa orthographia miseravel e preguiçosa.
O próprio Thesouro de Domingos Vieira é um exemplo do estado caótico da ortografia. Nele encontramos palavras como (em) tôrno e (o) entêrro, presumivelmente para se distinguirem de (eu) torno e (eu) enterro; mas também (o) emprego e (o) acordo, sem acento circunflexo para as distinguir de (eu) emprego e (eu) acordo. Por outro lado encontramos o acento circunflexo em vogais que, pelo menos no meu sotaque, têm timbre aberto, como idêa e assemblêa, e onde o acento não faz falta para distinguir estas de outras palavras.
O nosso moderno sistema de acentuação, com a identificação da sílaba tónica, tem a sua origem no final do século XIX e princípio do século XX. Tudo começou com iniciativas individuais, como o dicionário de Cândido de Figueiredo de 1899. O dicionário está pejado de acentos: para assinalar a sílaba tónica e o timbre da vogal, como o próprio título da obra ilustra—Nôvo Diccionário da Língua Portuguêza.
A grafia oficial aprovada em Portugal em 1911 e a brasileira de 1943, que basicamente instituíram a nossa ortografia atual, foram mais comedidas: os padrões mais comuns—como paroxítonas acabadas em a(s), e(s) e o(s) (cabra, bode, chibo) ou oxítonas acabadas em i(s), u(s), l, r, z (colibri, peru, papel, azar, rapaz), etc.—não levam acento, ficando estes reservados para as exceções. Mas mantiveram ou introduziram o acento circunflexo em inúmeras palavras como, nessas grafias, acôrdo, acêrto, sôbre, sêde, não porque fosse necessário para identificar a sílaba tónica, mas para as distinguir de (eu) acordo, (eu) acerto, sobre (de sobrar), sede (‘quartel-general’). A esmagadora maioria destes acentos diferenciais foi abolida em Portugal em 1945, e no Brasil em 1971. O Acordo Ortográfico de 1990 aboliu mais uns tantos dos poucos que tinham sobrevivido, e agora restam bem poucos (ver esta pergunta sobre este último ponto).
E pronto, aqui está por alto a história do acento circunflexo desde a sua origem grega atá ao uso atual no português.
